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真空泵的分類和性能

近年來,已開發出從大氣壓到高真空,僅用一臺泵就能實現的新型真空泵。但一般來說,為了獲得高真空、超高真空及極高真空,還是串聯多臺真空泵構成機組形式來完成抽氣任務的。因此,正確了解泵的工作原理、主要性能、結構特點以及分類等,對于用戶選擇經濟適用的真空泵是非常重要的。

真空泵是用以產生、改善和維持真空的裝置。按其工作原理,基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。

氣體傳輸泵,它是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以達到抽氣口的的真空泵。這種氣體傳輸泵含有容積泵和動量傳輸泵兩大類.容積真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣、壓縮和排氣的裝置。氣體排出前被壓縮,這種泵分為往復式和旋轉式兩種。

(1)往復式真空泵,利用泵腔內活塞的往復運動,將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱它為活塞式真空泵。

(2)旋轉式真空泵,利用泵腔內活塞的旋轉運動,將氣體吸入、壓縮并排出.屬于此類的泵種很多.

1)油封式機械泵,它是利用油類密封各種運動部件的間隙,減少有害空間的一種旋轉式容積真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置,故稱氣鎮式真空泵,按其結構特點分為:旋片泵,定片泵,滑閥泵,余擺線泵以及多室旋片泵等。

2)干式真空泵.目前所謂的干式真空,一般通用的說法是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內工作的真空泵;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和密封液體.排氣口與大氣相通,能夠連續向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵。按其工作原理分,也有干式容積真空泵,如多級羅茨泵、多級活塞泵、爪型泵、螺桿泵、渦旋泵等;此外還有動最傳輸式干式泵二如渦輪干式泵,離心干式泵等.這種泵的抽氣不再有油的污染了,是近期開發研制較多的泵種。

3)液環真空泵,帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當轉子旋轉時,把液體(水或油類)拋向泵殼形成與泵殼同心的液環,液環同轉子上的葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積實現吸氣、壓縮和排氣.由于液環起到壓縮氣體的作用故又稱它為液體活塞真空泵。

4)羅茨真空泵,泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉或多葉形的轉子,轉子間、轉子與泵殼內壁之間均保持有一定的間隙。它屬于無內壓縮式的真空泵.按用途又分為濕式羅茨泵,直排大氣式羅茨泵和機械增壓泵等類型。


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