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真空泵的參數及分類

抽氣原理的選擇或所用真空泵的選擇受特定參數的限制。這些參數主要是:最低壓強、壓強范圍、抽速、排氣壓強。在超高真空范圍內,還要加上另外兩個參數:泵的選擇性及殘余氣體的成分。

排氣壓強是泵在這一壓強下可以進行排氣的壓強。根據這個觀點,真空泵可大致分為三類:

1)往大氣中排氣的泵。這種泵一般稱為粗抽泵或前級泵。把系統中空氣抽除到某一需要的工作壓強稱為對該系統粗抽。在另一泵的出口處保持的一個所需的低壓強稱為前級壓強。機械旋轉泵和噴射泵就是典型的粗抽泵或前級泵。

2)只往低于大氣壓的環境中排氣的泵。這種泵需要一個前級泵(申聯)向大氣中排氣。擴散泵、羅茨泵及分子泵均屬于這種類型。它們都需要一個前級泵。

3)可束縛住系統中的氣體和蒸汽的泵。這種泵不需要出氣口,是根據電離或吸著原理制成的。


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